簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="接觸面積"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    拋光墊表面微突起接觸面積對銅薄膜晶圓化學機械拋光之影響研究
    • /110/ 碩士
    • 研究生: 林峻宇 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究目的為下壓力對於軟拋墊表面微突起接觸面積的影響與材料移除率預測模型應用於銅薄膜化學機械拋光製程。實際方法使用X-ray電腦斷層掃描儀進行軟拋墊的微觀形貌掃描,再透過三維分析軟體組建軟拋墊的微觀…
    • 點閱:208下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/19 (校內網路)
    • 全文公開日期 2027/09/19 (校外網路)
    • 全文公開日期 2027/09/19 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    2

    搖臂式修整於拋光墊之平坦度與接觸面積分析化學機械拋光影響研究
    • /111/ 碩士
    • 研究生: 廖啟宏 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究為探討搖臂式修整後拋光墊接觸面積對於CMP的影響,首先建立量測接觸面積之方法,接著探討修整與接觸面積之間的關係,利用拋光墊的粗糙度、承載面積比與接觸面積進行相關性分析,因為粗糙度與承載面積比經…
    • 點閱:332下載:0
    • 全文公開日期 2026/08/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
    1